FT：华为开始统筹国产光刻机，宇量昇DUV年底目标12台

AI 摘要

据英国《金融时报》报道，华为正深入介入国产光刻机供应链，统筹供应商、晶圆厂和整机厂商，推动国产DUV进入产线。进展最快的上海宇量昇开发的DUV已在中芯国际及华为产线测试，计划年底生产12台，先做较简单芯片，最终目标用于先进AI芯片制造。目前设备仍依赖德国Zeiss镜头，高功率光源是瓶颈，华为已投资至期光子、科益虹源等公司补短板。